아래 그림은 레이저 광을 집속했을 때 초점 직경(spot size)을 계산하는 방법이다. 초점 직경을 작게 하기 위해서는 입사되는 광의 지름을 크게 하거나 렌즈의 초점거리를 짭게 하면 된다. 하지만 렌즈의 초점거리를 짧게 하면 가공영역이 줄어들기 때문에 가공영역을 확보하면서 초점 직경을 작게 만들기 위해서는 입사광의 지름을 크게 하는 것이 좋다.
레이저 품질에 영향을 주는 다른 인자는 초점 유지 길이(DOF, Depth of Focus)가 있다. 초점 유지 길이는 초점 직경을 유지하는 길이로 길수록 품질이 좋아진다. 하지만 초점 유지 길이를 길게 하면 초점 직경이 상대적으로 커지기 때문에 적절한 최적의 조건을 찾아야 한다.
